一种太阳能电池硅片烘干固化集成设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种太阳能电池硅片烘干固化集成设备，包括依次设置的上料输送线、上料台、装载腔、至少两个线性并列设置的烘箱、下料台、下料输送线及载板回流机构；所述上料输送线对应所述上料台的进料端，所述上料台的出料端对应所述装载腔的进料端；所述下料台的进料端对应最后一个所述箱体出料端的出料端，所述下料台的出料端对应所述下料输送线。该实用新型利用自动化上下料及在线输送并通过硅片平躺式双面同时加热实现均匀快速烘干固化，并可实现载板的回流重复使用；挥发的有机气体可以通过真空抽气和进气的方式均匀有效的抽出而无需大量吹气，有效减少了吹气能耗；且线性上下料具有高产能、占地少的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种太阳能电池硅片烘干固化集成设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020541613.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-13
授权号 ：
CN212161839U
授权日 ：
2020-12-15
发明人 ：
上官泉元刘宁杰
申请人 ：
常州比太科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市武进高新技术产业开发区凤翔路7号
代理机构 ：
北京集智东方知识产权代理有限公司
代理人 ：
吴倩
优先权 ：
CN202020541613.7
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/677 H01L21/67
法律状态
2020-12-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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