本实用新型提供了一种等离子体增强化学气相沉积装置，包括用于气相沉积的反应腔，所述反应腔上方的微波源反应器，所述反应腔中部设置有样品台，所述样品台设置在升降装置上，所述升降装置底端固定在密封板上，所述密封板设置在样品台出入口处，所述密封板底端固定在在驱动板上，所述驱动板的左、右两侧设置有液压驱动装置，所述液压驱动装置包括伸缩杆，所述两侧的伸缩杆底端分别固定在驱动板侧面，所述驱动板下方设置有取样室，所述取样室的左右两侧分别设置有吹扫装置和吸附网，所述吸附网可拆卸的设置在取样室的侧壁上，本实用新型取样方便，使用便捷，从下方取样不会损坏上部的等离子体发生装置等，而且取样过程中外延生长环境清洁无污染。