可容置晶舟盒的下沉式感应耦合电浆洁净机
授权
摘要
一种可容置晶舟盒的下沉式感应耦合电浆洁净机，包括：腔体、晶舟盒、抽真空设备、气密门组件及电浆发射源，腔体内形成一腔室，腔体具有朝上的进入口，晶舟盒内承载着多片晶圆，由进入口下沉进入腔室内，气密门组件安装于腔体上且位于进入口处，用以开闭且维持腔室的密封，电浆发射源与抽真空设备分别连通腔室，抽真空设备使腔室内产生真空并维持腔室所需的真空度，电浆发射源对腔室内的晶舟盒发射感应耦合电浆，以轰击去除晶舟盒及晶圆表面的污染物。
基本信息
专利标题 ：
可容置晶舟盒的下沉式感应耦合电浆洁净机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020579909.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-17
授权号 ：
CN211376582U
授权日 ：
2020-08-28
发明人 ：
王辉
申请人 ：
京隆科技(苏州)有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市苏州工业园区方洲路183号
代理机构 ：
北京华夏博通专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘俊
优先权 ：
CN202020579909.8
主分类号 ：
H01J37/20
IPC分类号 ：
H01J37/20 H01J37/16 H01J37/32 H01L21/673 H01L21/67 B08B7/00 B08B13/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/20
物体或材料的支承或定位装置；与支架相联的光阑或透镜的调整装置
法律状态
2020-08-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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