一种掩膜版多功能承载架
授权
摘要
本实用新型公开了一种掩膜版多功能承载架，包括承载架，所述承载架的顶部设置有夹持机构，所述承载架的内部设置有第一传动机构，所述夹持机构包括两个支撑板，其中一个所述支撑板固定安装在承载架一侧的顶部，另一个所述支撑板滑动安装在承载架靠近另一侧的顶部，两个所述支撑板相对面的顶部外壁滑动连接有支杆，所述支杆远离支撑板的一端固定连接有三角固定夹，所述支杆与支撑板顶部的腔内设置有第二传动机构，所述三角固定夹包括固定夹，所述固定夹的顶部固定安装有气缸，所述气缸输出轴穿入固定夹内部的一端固定安装有夹块。通过设置夹持机构、第一传动机构和第二传动机构，达到了将掩膜版夹持固定的效果。
基本信息
专利标题 ：
一种掩膜版多功能承载架
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020590799.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-20
授权号 ：
CN212112122U
授权日 ：
2020-12-08
发明人 ：
李真明黎增祺周涛
申请人 ：
南通美精微电子有限公司
申请人地址 ：
江苏省南通市苏通科技产业园区江荣路100号
代理机构 ：
南京纵横知识产权代理有限公司
代理人 ：
董成
优先权 ：
CN202020590799.5
主分类号 ：
G03F1/82
IPC分类号 ：
G03F1/82 G03F1/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1/00
用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1/68
未包含在G03F1/20至G03F1/50组中的制备工艺
G03F1/82
辅助工艺，例如清洗
法律状态
2020-12-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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