一种半导体封装晶圆切割结构
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摘要

本实用新型公开了一种半导体封装晶圆切割结构,包括切割机,切割机上设有加工台,加工台的顶端安装有切割装置,加工台的顶壁上固定安装有置物台,加工台内安装有安装管,安装管的顶壁上均匀固定安装有多个支管,且支管的顶端均插设在置物台的底壁上,置物台上均匀开设有多个与支管相互连通的通孔,且通孔的顶端均延伸至置物台的上侧,置物台顶壁上放置有晶圆,加工台的底端设有安装箱。本实用新型中将晶圆放置在置物台上,借助真空抽气机将晶圆与置物台之间的空气抽出就可以方便的对晶圆进行固定,不仅固定速率快,而且能避免固定时损坏晶圆,不仅提升了晶圆的切割速度,也改善了晶圆的切割质量,设计合理,实用效果好。

基本信息
专利标题 :
一种半导体封装晶圆切割结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020683739.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-29
授权号 :
CN212380408U
授权日 :
2021-01-19
发明人 :
刘雨墨
申请人 :
杭州凌博精密机械有限公司
申请人地址 :
浙江省杭州市萧山区所前镇东藩路62号
代理机构 :
杭州知见专利代理有限公司
代理人 :
卢金元
优先权 :
CN202020683739.8
主分类号 :
H01L21/683
IPC分类号 :
H01L21/683  H01L21/78  H01L21/304  B01D46/10  B01D46/00  
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2021-01-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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