一种自动检测单晶硅棒晶向的机构
授权
摘要
本实用新型涉及单晶硅加工技术领域，尤其涉及一种自动检测单晶硅棒晶向的机构。包括底座，滑台气缸，测量臂、磁性传感器和磁条。底座上设有滑台气缸，连接座设于滑台气缸上。连接座上端面设有导轨，连接座上端面后端设有挡板。导轨上通过滑块设有测量臂，测量臂前端设有滚动体；磁性传感器通过传感器连接板安装在测量臂侧部，连接座上端面开有槽口，槽口方向与测量臂运动方向一致，磁条设于槽口内，并位于磁性传感器下方；导向杆前端插在测量臂里，导向杆后端固设于挡板上。本实用新型实现了自动检测晶棒晶向，取代人工操作，节约时间和成本。
基本信息
专利标题 ：
一种自动检测单晶硅棒晶向的机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020837299.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-19
授权号 ：
CN212364177U
授权日 ：
2021-01-15
发明人 ：
朱亮卢嘉彬周锋吴兵兵高红刚罗叶枫严浩曹建伟傅林坚
申请人 ：
浙江晶盛机电股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
代理机构 ：
杭州中成专利事务所有限公司
代理人 ：
周世骏
优先权 ：
CN202020837299.7
主分类号 ：
G01N27/72
IPC分类号 ：
G01N27/72 G01B7/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/626
应用加热电离气体
G01N27/72
通过测试磁变量
法律状态
2021-01-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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