一种化学气相沉积炉漏气处理装置
授权
摘要
本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积炉漏气处理装置，解决现有技术中存在的缺点，包括炉体，所述炉体的外部包裹有隔热层，所述隔热层的外部包裹有防漏气包裹层，所述防漏气包裹层的一侧通过法兰盘固定连接有抽气管，且防漏气包裹层上开设有若干个通孔，在漏气时由于防漏气包裹层与炉体之间为真空状态，当气体泄露时，会在泄露区域内使对应的气囊充气鼓起，便于技术人员寻找炉体的漏气点，具有较强的实用性，沉积炉正常工作时气囊收纳在通孔的内部，漏气时气囊充气膨胀至通孔的外部，红外传感器能够在第一时间检测到气体泄露，进而发出警报提示工作人员。
基本信息
专利标题 ：
一种化学气相沉积炉漏气处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020859265.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-21
授权号 ：
CN212451624U
授权日 ：
2021-02-02
发明人 ：
朱双林李春敏马国忠胡人文王恩强黄道平沈伟
申请人 ：
苏州索科特新材料科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市张浦镇欣合路6号1幢
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020859265.8
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2021-02-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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