一种石英晶片表面污染物识别检测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种石英晶片表面污染物识别检测装置，涉及生产检测设备技术领域。包括机架、机槽、皮带输送机、图像检测组件及工业机械臂，所述机槽固定安装于机架上，所述皮带输送机固定安装于机槽内，且皮带输送机的输送带上画印有圈定区。该石英晶片表面污染物识别检测装置，将晶片置于皮带输送机输送带上的圈定区内，通过皮带输送机将晶片向图像检测组件的方向输送，当工业高清面阵相机采集到晶片表面污染物的情况时反馈给后台计算机，从后台计算机储存的标准图像进行对比分析，确定晶片是否合格，若判定不合格时，后台计算机反馈信号至PLC电控柜，由PLC电控柜控制工业机械臂将不合格的晶片从皮带输送机的输送带上剔除。
基本信息
专利标题 ：
一种石英晶片表面污染物识别检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020879731.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-23
授权号 ：
CN212658637U
授权日 ：
2021-03-05
发明人 ：
张斌郑宝春郑宝生
申请人 ：
浙江蓝晶芯微电子有限公司
申请人地址 ：
浙江省金华市兰溪经济开发区江南高新园区致远路85号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202020879731.9
主分类号 ：
G01N21/94
IPC分类号 ：
G01N21/94 G01N21/892
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/94
研究污染，例如灰尘
法律状态
2021-03-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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