一种镜头调倍结构、照明镜头以及直写曝光机
授权
摘要

本实用新型公开了一种镜头调倍结构、照明镜头以及直写曝光机,涉及直写式曝光技术领域。该镜头调倍结构包括第一透镜、第一镜筒、第二透镜、第三透镜和调节组件,其中第一透镜活动设置于第一镜筒内且第一透镜与第一镜筒同轴设置,第二透镜和第三透镜沿第一镜筒的轴向间隔且相对设置于第一镜筒内,第二透镜和第三透镜均与第一透镜同轴设置且与第一镜筒固接,第一透镜位于第二透镜和第三透镜之间;调节组件包括调节件和设置于第一镜筒上的滑槽,调节件滑动穿设于滑槽内且能够带动第一透镜在第二透镜和第三透镜之间移动。通过调节件在滑槽里移动带动第一透镜在第二透镜和第三透镜之间运动,以达到镜头调倍的目的,结构简单且调节方便。

基本信息
专利标题 :
一种镜头调倍结构、照明镜头以及直写曝光机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020894309.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-05-25
授权号 :
CN212341674U
授权日 :
2021-01-12
发明人 :
蔡志国龚田
申请人 :
苏州微影激光技术有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市高新区火炬路85号
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
胡彬
优先权 :
CN202020894309.0
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-01-12 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332