一种点源监控蒸镀机台
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摘要
本实用新型公开了一种点源监控蒸镀机台，其特征在于：包括设于蒸镀机腔体内的坩埚，所述坩埚上连接有导流管，所述导流管的一端连接在所述坩埚上，另一端连接至速度检测设备。本实用新型点源监控蒸镀机台，结构简单，可有效的监控点源蒸镀速度，提升蒸镀效果，具有较强的实用性和较好的应用前景。
基本信息
专利标题 ：
一种点源监控蒸镀机台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020923482.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-27
授权号 ：
CN212610870U
授权日 ：
2021-02-26
发明人 ：
李本龙
申请人 ：
安徽熙泰智能科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省芜湖市芜湖长江大桥综合经济开发区高安街道经四路一号办公楼五楼
代理机构 ：
芜湖安汇知识产权代理有限公司
代理人 ：
方文倩
优先权 ：
CN202020923482.9
主分类号 ：
C23C14/26
IPC分类号 ：
C23C14/26 C23C14/54
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/26
电阻加热蒸发源法或感应加热蒸发源法
法律状态
2021-02-26 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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