一种气相沉积用喷淋板的孔径检测治具
授权
摘要
本实用新型是一种气相沉积用喷淋板的孔径检测治具，包括治具底座，其特征在于，在治具底座的上表面安有前后对应的弧形卡座二，前后弧形卡座二之间形成环形开孔二，在前后弧形卡座二的上表面均对应固接有弧形卡座一，前后弧形卡座一之间形成环形开孔一，弧形卡座一、弧形卡座二与治具底座之间依次呈阶梯状结构设置。本实用新型通过在治具底座上设置弧形卡座一，弧形卡座二，以及同轴的环形开孔一和环形开孔二，在不更换检测治具的情况下，实现了自由切换检测不同规格的喷淋板的孔径，通过设置与喷淋板的定位块相适配的定位槽一和定位槽二，配合弧形卡座一的固定孔，避免了喷淋板与检测治具发生相对移动，进而提高了检测的工作效率。
基本信息
专利标题 ：
一种气相沉积用喷淋板的孔径检测治具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020982436.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-02
授权号 ：
CN212320602U
授权日 ：
2021-01-08
发明人 ：
张代龙穆帅帅马有杰贺贤汉
申请人 ：
富乐德科技发展（天津）有限公司
申请人地址 ：
天津市武清区京滨工业园京滨大道南侧
代理机构 ：
天津市新天方专利代理有限责任公司
代理人 ：
孔珍
优先权 ：
CN202020982436.6
主分类号 ：
G01B5/12
IPC分类号 ：
G01B5/12
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B5/00
以采用机械方法为特征的计量设备
G01B5/08
用于计量直径
G01B5/12
内径
法律状态
2021-01-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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