一种半导体气相沉积装置中防护罩冲水治具
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体气相沉积装置中防护罩冲水治具，包括:水管、上端盖、底座和支腿；在上端盖外周设有一圈与待冲洗部品相对应的螺丝孔，提拉把手位于上端盖两侧的上部，在上端盖中心位置设有通孔，所述水管的一端通过快插接头与通孔连接；所述底座上分布有4个台阶孔，支腿的顶端位于相应的台阶孔中；在底座的两端设有缺口凹槽结构；待冲洗部品位于上端盖与底座之间；本申请治具代替了人工冲洗，冲洗效果更加均匀，提高了工作效率。
基本信息
专利标题 ：
一种半导体气相沉积装置中防护罩冲水治具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920539978.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-19
授权号 ：
CN209829676U
授权日 ：
2019-12-24
发明人 ：
朱光宇陈智慧张正伟李泓波贺贤汉
申请人 ：
富乐德科技发展（大连）有限公司
申请人地址 ：
辽宁省大连市保税区海明路179-8号（环普国际产业园B04栋）
代理机构 ：
大连智高专利事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
盖小静
优先权 ：
CN201920539978.3
主分类号 ：
B08B3/00
IPC分类号 ：
B08B3/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
法律状态
2019-12-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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