一种晶圆篮清洗设备进料机构
授权
摘要
本申请涉及一种晶圆篮清洗设备进料机构，包括：工作台、第一传输组件和第二传输组件，工作台设置有用于固定晶圆篮的第一固定座，第二固定座和第三固定座，且第一固定座与第二固定座、第二固定座与第三固定座之间的工作台上成型有让位槽，让位槽的宽度小于晶圆篮宽度；第一传输组件和第二传输组件位于工作台下方，用于将晶圆篮从第一固定座运输到第二固定座上，从第二固定座运输到第三固定座上。晶圆篮在工作台上运动，运动的传输组件在工作台下方运动，传输组件穿过工作台以托起晶圆篮的方式进行运动，同时让位槽的宽度小于晶圆篮宽度，这样就可以完全避免晶圆蓝从让位槽处落下，降低晶圆损坏风险。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆篮清洗设备进料机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021007230.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-04
授权号 ：
CN211700217U
授权日 ：
2020-10-16
发明人 ：
钱诚李刚童建
申请人 ：
无锡亚电智能装备有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市无锡新吴区无锡中关村软件园30号楼
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021007230.8
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/677
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-10-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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