本实用新型涉及硅片检测技术领域，且公开了一种硅片缺陷的检测装置，包括外壳，所述外壳的内部固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出轴固定安装有传动辊，所述外壳的内部活动安装有位于传动辊上方的中心导辊，所述外壳的左右两侧均固定安装有数量为两个的固定板，所述外壳的内部和左侧两个所述固定板之间均活动安装有位于伺服电机左侧的第一导轮，所述外壳的内部和右侧两个所述固定板之间均活动安装有位于伺服电机右侧的第二导轮，所述第一导轮、中心导辊和传动辊通过第一皮带传动连接，所述第二导轮、中心导辊和传动辊通过第二皮带传动连接。该硅片缺陷的检测装置，可对硅片进行全方面的检查，检查效果更好，更便于使用者使用。