盖子、固定装置以及电子束蒸镀装置

专利权的主动放弃

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摘要

本实用新型涉及一种盖子、固定装置以及电子束蒸镀装置，在蒸镀过程中，能够减小盖子与基片间的摩擦力，从而减小因摩擦导致基片表面受损的风险，保证基片的蒸镀质量，降低生产成本。

基本信息

专利标题：

盖子、固定装置以及电子束蒸镀装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021139405.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-06-18

授权号：

CN212476867U

授权日：

2021-02-05

发明人：

曹乐张希山胡旭峰

申请人：

中芯集成电路制造（绍兴）有限公司

申请人地址：

浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

曹廷廷

优先权：

CN202021139405.0

主分类号：

C23C14/30

IPC分类号：

C23C14/30 C23C14/50

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23C

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆

C23C14/00

通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆

C23C14/22

以镀覆工艺为特征的

C23C14/24

真空蒸发

C23C14/28

波能法或粒子辐射法

C23C14/30

电子轰击法

法律状态

2022-01-21 ：

专利权的主动放弃

IPC(主分类) : C23C 14/30
申请日 : 20200618
授权公告日 : 20210205
放弃生效日 : 20220110

2021-08-24 ：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

IPC(主分类) : C23C 14/30
变更事项 : 专利权人
变更前 : 中芯集成电路制造（绍兴）有限公司
变更后 : 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 312000 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号
变更后 : 312000 浙江省绍兴市皋埠镇临江路518号

2021-02-05 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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