一种膜厚控制装置及磁控溅射机
授权
摘要
本实用新型提供一种膜厚控制装置及磁控溅射机，涉及零件镀膜技术领域，所述膜厚控制装置包括与靶材相邻设置的遮挡结构；所述遮挡结构包括支撑杆，以及若干依次相邻设置的挡板；所述挡板位于所述靶材的上方，且所述挡板与所述支撑杆活动连接。本实用新型提供的膜厚控制装置，设置与靶材相邻的遮挡结构，通过在遮挡结构中设置若干个与支撑杆活动连接的挡板，从而能够根据零件的镀膜需求来对相应的挡板的位置进行调节，通过调节挡板的位置来改变对靶材的遮挡区域以及遮挡面积，进而实现对镀膜区域和镀膜厚度进行精确控制。
基本信息
专利标题 ：
一种膜厚控制装置及磁控溅射机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021237343.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-06-29
授权号 ：
CN212770938U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
周群徐生辉郭浩
申请人 ：
常州星宇车灯股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市汉江路398号
代理机构 ：
常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
马晓敏
优先权 ：
CN202021237343.7
主分类号 ：
C23C14/54
IPC分类号 ：
C23C14/54 C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/54
镀覆工艺的控制或调节
法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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