一种智能切换控制装置及磁控溅射镀膜设备
授权
摘要
本公开披露一种智能切换控制装置及磁控溅射镀膜设备，属于阴极射线管技术领域，该智能切换控制装置包括：阴极控制开关组件，一端与两个或两个以上的磁控溅射阴极连接，另一端与一个阴极电源连接；气流控制开关组件，设置在用于磁控溅射的镀膜腔体和气体流量模组的连接通道上，气流控制开关组件一端与一个气体流量模组连接，另一端与两个或两个以上的镀膜腔体连接；切换控制系统，与阴极控制开关组件及气流控制开关组件连接，通过发出的控制信号来控制阴极控制开关组件与气流控制开关组件，以开启和切换需要控制的磁控溅射阴极。通过实施本公开的技术方案，可同时连接两个或两个以上的磁控溅射阴极，并同时切换控制对应的阴极电源和气体流量模组。
基本信息
专利标题 ：
一种智能切换控制装置及磁控溅射镀膜设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021690542.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-14
授权号 ：
CN211570761U
授权日 ：
2020-09-25
发明人 ：
俞元坤方焕斌
申请人 ：
布勒莱宝光学设备（北京）有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区永昌南路2号5号楼
代理机构 ：
北京锺维联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
安娜
优先权 ：
CN202021690542.3
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35 C23C14/54
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2020-09-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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