一种化学气相沉积炉热电偶密封安装机构
授权
摘要
本实用新型提供一种化学气相沉积炉热电偶密封安装机构。化学气相沉积炉热电偶密封安装机构，包括：炉体；插孔，所述插孔开设在炉体的一侧上；热电偶，所述热电偶滑动安装在插孔内，所述热电偶的一端延伸至炉体外；两个方块，两个所述方块均固定安装在炉体的一侧上；两个装孔，两个所述装孔分别开设在两个所述方块相互靠近的一侧上；两个弧形块，两个所述弧形块均设在两个所述方块之间，两个所述弧形块相适配；两个定块，两个所述定块分别固定安装在对应的所述弧形块上。本实用新型提供的化学气相沉积炉热电偶密封安装机构具有使用方便、便于对热电偶进行安装跟换，保证热电偶连接的稳定连接性的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种化学气相沉积炉热电偶密封安装机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021308618.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-07
授权号 ：
CN212770944U
授权日 ：
2021-03-23
发明人 ：
贺鹏博周帆
申请人 ：
湖南铠欣新材料科技有限公司
申请人地址 ：
湖南省益阳市高新区东部产业园标准化厂房E区E1栋北侧一半
代理机构 ：
长沙轩荣专利代理有限公司
代理人 ：
黄艺平
优先权 ：
CN202021308618.1
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2021-03-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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