一种碳化硅和氮化镓半导体外延片检测用夹持装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种碳化硅和氮化镓半导体外延片检测用夹持装置,包括支撑座和固定装置,所述支撑座上方安装有放置台,且放置台上表面放置有外延片。该一种碳化硅和氮化镓半导体外延片检测用夹持装置安装有固定装置,固定块上端内表面设置有第一弹簧,且第一弹簧与半圆滑块之间构成弹性结构,所以当调整好延伸杆的角度使固定装置下压至外延片上表面时,第一弹簧可以有效的对固定装置施加的力度进行缓冲,防止外延片受损,而支撑柱末端连接的第二弹簧可以对按压时的力度进行二次缓冲,大大加强了固定装置的稳定性,且支撑柱通过限位槽与固定块之间构成限位结构,有利于防止固定装置在按压过程中第一弹簧由于受力完全收缩,使得固定效果不佳。

基本信息
专利标题 :
一种碳化硅和氮化镓半导体外延片检测用夹持装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021379358.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-14
授权号 :
CN212859177U
授权日 :
2021-04-02
发明人 :
王泓江
申请人 :
安徽德徽创芯科技有限公司
申请人地址 :
安徽省蚌埠市怀远县经济开发区龙腾路18号
代理机构 :
广东有知猫知识产权代理有限公司
代理人 :
李小波
优先权 :
CN202021379358.7
主分类号 :
B25B11/00
IPC分类号 :
B25B11/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B25
手动工具;轻便机动工具;手动器械的手柄;车间设备;机械手
B25B
不包含在其他类目中的用于紧固、连接、拆卸或夹持的工具或台式设备
B25B11/00
不包含在B25B1/00至B25B9/00各组中的工件夹持装置或定位装置,例如,磁性工件夹持装置、真空夹持装置
法律状态
2021-04-02 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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