Ⅲ族氮化物半导体器件和外延衬底
专利权的终止
摘要

提供一种III族氮化物半导体器件,该半导体器件具有可以提高击穿电压的结构。肖特基二极管(11)由III族氮化物支撑衬底(13)、氮化镓区(15)以及肖特基电极(17)构成。III族氮化物支撑衬底(13)具有导电性。肖特基电极(17)在氮化镓区(15)上形成肖特基结。氮化镓区(15)被制造在III族氮化物支撑衬底(13)的主面(13a)上。氮化镓区(15)具有100秒以下的(1012)-面XRD半峰全宽。

基本信息
专利标题 :
Ⅲ族氮化物半导体器件和外延衬底
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN1993834A
申请号 :
CN200680000560.0
公开(公告)日 :
2007-07-04
申请日 :
2006-01-20
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
三浦广平木山诚樱田隆
申请人 :
住友电气工业株式会社
申请人地址 :
日本大阪府
代理机构 :
中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人 :
林宇清
优先权 :
CN200680000560.0
主分类号 :
H01L29/47
IPC分类号 :
H01L29/47  H01L29/872  
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法律状态
2019-01-08 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 29/47
申请日 : 20060120
授权公告日 : 20130522
终止日期 : 20180120
2013-05-22 :
授权
2007-08-29 :
实质审查的生效
2007-07-04 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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