一种线圈固定架和晶片预清洁蚀刻设备
授权
摘要
本实用新型提出一种线圈固定架和晶片预清洁蚀刻设备，其中，线圈固定架包括底盘和成对的支撑杆与锁紧件。所述支撑杆呈T型，包括相互连接的头部和调节杆。所述底盘的盘面上设有辐射状的T型槽。所述支撑杆的头部可滑动装入所述T型槽，所述调节杆穿过所述T型槽指向远离所述底盘的方向。所述T型槽至少两条，一条T型槽上至少有一对支撑杆与锁紧件。所述锁紧件可上下调节安装在所述调节杆上，用于锁紧线圈。本实用新型能够依照晶片蚀刻均匀度对线圈进行上下或者左右多方向的调整，能够根据生产需求，独立设置内外圈的线圈高度，且调整结构简单，调整方便。
基本信息
专利标题 ：
一种线圈固定架和晶片预清洁蚀刻设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021382506.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-14
授权号 ：
CN212182281U
授权日 ：
2020-12-18
发明人 ：
林俊成沈佑德郑耀璿
申请人 ：
鑫天虹（厦门）科技有限公司
申请人地址 ：
福建省厦门市火炬高新区（翔安）产业区洪溪南路9号A栋102
代理机构 ：
厦门律嘉知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
温洁
优先权 ：
CN202021382506.0
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-12-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN212182281U.PDF
PDF下载
