高度可调的晶圆加热装置及具有其的多工位点胶机
授权
摘要
本实用新型公开了一种高度可调的晶圆加热装置及具有其的多工位点胶机，高度可调的晶圆加热装置包括：底板；支撑杆，设于底板；发热支撑台，设于支撑杆且与底板间隔开；加热器，加热器设于发热支撑台；高度调节组件，高度调节组件设于发热支撑台与支撑杆之间以调节发热支撑台的水平高度。该晶圆加热装置通过底板、支撑杆、发热支撑台、加热器和高度调节组件相配合，发热支撑台与支撑杆之间的距离可调节，可将发热支撑台调节到水平状态，使加热器的加热面的各个部位与晶圆之间的距离相同，晶圆各部位的温度均匀。加热器距离底板的高度可调节，可以避免加热器与底板直接接触，提高了生产安全性，且具有设置简单，易于实施等优点。
基本信息
专利标题 ：
高度可调的晶圆加热装置及具有其的多工位点胶机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021418359.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-17
授权号 ：
CN213103038U
授权日 ：
2021-05-04
发明人 ：
林翔周典虬黄国伟
申请人 ：
常州铭赛机器人科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城哈工大铭赛科技大厦
代理机构 ：
常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
赵旭
优先权 ：
CN202021418359.8
主分类号 ：
B05D3/02
IPC分类号 ：
B05D3/02 B05C5/02 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05D
对表面涂布流体的一般工艺
B05D3/00
涂布液体或其他流体的表面的预处理；已有涂层的后处理，例如要用液体或其他流体作后续涂布的已有的涂层的中间处理
B05D3/02
烘烤
法律状态
2021-05-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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