一种基于形变防止光散的套刻测量装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种基于形变防止光散的套刻测量装置，包括底板，所述底板的顶部外壁固定连接有两个固定板，且两个固定板的相对一侧外壁均固定连接有气缸，两个所述气缸的另一端均固定连接有限位板，且两个限位板的相对一侧外壁均固定连接有分隔板，两个分隔板的顶部外壁和底部外壁均等距离开有锯齿槽，所述底板位于两个限位板之间的顶部外壁固定连接有液压缸。本实用新型通过设置有分隔板，分隔板位于材料和套板之间，进行材料和套板的固定时，分隔板将两者分割，同时，在分隔板的顶部外壁和底部外壁均开有锯齿槽，增加材料和套板受到的摩擦阻力，确保其在光刻过程中不会出现因挤压错位的情况，提高光刻的精确度和光刻效果。

基本信息

专利标题：

一种基于形变防止光散的套刻测量装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021426263.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-20

授权号：

CN213033926U

授权日：

2021-04-23

发明人：

宗义华房俊智

申请人：

嘉兴雷霆光学科技有限公司

申请人地址：

浙江省嘉兴市秀洲区洪合镇塘濮路455号1号楼102室

代理机构：

合肥市科融知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

范宇皓

优先权：

CN202021426263.6

主分类号：

B23K26/70

IPC分类号：

B23K26/70 B23K26/362