一种采用电磁加热的物理气相沉积设备
授权
摘要
一种采用电磁加热的物理气相沉积设备，包括机体，其中，机体内部底端设有电机一，电机一输出轴贯穿承载板并与驱动机构连接，且驱动机构位于承载板的顶部，驱动机构顶端设有电磁加热蒸镀器，电磁加热蒸镀器顶端中心设有喷口，电磁加热蒸镀器内腔设有与喷口连接的坩埚，机体内顶部一侧设有电机二，电机二远离机体的一侧与升降机构连接，机体的内壁两侧中部位置均设有档杆，档杆与升降机构活动连接。有益效果：使得基片放置板能够实现上下方向的调节，从而方便基片的取放，使得电磁加热蒸镀器能够实现前后、左右方向的往复运动，可以更加灵活地对蒸镀范围进行调节，提高蒸镀效果。
基本信息
专利标题 ：
一种采用电磁加热的物理气相沉积设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021432056.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-20
授权号 ：
CN212560420U
授权日 ：
2021-02-19
发明人 ：
艾啸林向雨欣殷洋洋李颖潘榆徐洋
申请人 ：
重庆三峡学院
申请人地址 ：
重庆市万州区沙龙路780号
代理机构 ：
北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
曹玉清
优先权 ：
CN202021432056.1
主分类号 ：
C23C14/26
IPC分类号 ：
C23C14/26
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/26
电阻加热蒸发源法或感应加热蒸发源法
法律状态
2021-02-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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