一种半导体生产加工用测试工装
授权
摘要
本实用新型公开了一种半导体生产加工用测试工装,包括底座,所述底座的顶部一侧装设有电源键,所述底座的前表面顶部装设有压架,所述压架上装设有手柄,所述底座的顶部装设有检测台,所述检测台包括固定放置台和移动放置台,所述固定放置台上旋设安装有螺杆,所述移动放置台转动装设在螺杆的另一端;将装置上的检测平台设置为可调节移动的结构,当测试不同尺寸的工件时,可调节移动放置台的间距,方便将半导体工件稳定放置,在该装置的压板上装设有可缓冲的压紧结构,通常在对工件进行固定压紧时,若压合的力度过大,有可能会对工件表面造成损伤,通过缓冲结构的作用,可提高压合时的稳定性,同时避免工件破裂损坏,提高了该装置的实用性。
基本信息
专利标题 :
一种半导体生产加工用测试工装
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021451487.2
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-07-22
授权号 :
CN212750847U
授权日 :
2021-03-19
发明人 :
卢绍宾
申请人 :
昆山永芯禾光电科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市昆山市周市镇康庄路155号3号房
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202021451487.2
主分类号 :
H01L21/687
IPC分类号 :
H01L21/687 H01L21/66
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的,例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2021-03-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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