一种晶粒的测试设备
授权
摘要
一种晶粒的测试设备，包括工作台，在工作台上设有晶粒取放机构、晶粒料盘转移机构、晶粒摆放区域和晶粒测试位，晶粒摆放区域设有待测区域和已测区域，待测区域和已测区域布置有摆放晶粒的晶粒料盘，晶粒料盘可摆放多个晶粒，晶粒取放机构从待测区域取出晶粒，并运送至晶粒测试位进行测试，接着将测试好的晶粒放到已测区域相对应的晶粒料盘，当测试完一个在待测区域的晶粒料盘的所有晶粒后，晶粒料盘转移机构将已测好所有晶粒的晶粒料盘转移至已测区域；实现了晶粒送检的自动化，并且对已测晶粒进行的有效的分类，避免后续出现将不同参数规格的晶粒混淆的情况。
基本信息
专利标题 ：
一种晶粒的测试设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021544223.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-30
授权号 ：
CN212725246U
授权日 ：
2021-03-16
发明人 ：
李昕昱
申请人 ：
昕昱科技发展（深圳）有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙华区观澜街道新澜社区观光路1301号银星科技大厦C802C802
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202021544223.1
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/66
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-03-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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