一种用于晶圆制造的圆片清洗设备
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型涉及晶圆清洗设备技术领域,特别是涉及一种用于晶圆制造的圆片清洗设备,包括底板,底板上端左右两侧分别固定有支撑板,左右两块支撑板之间设置有一对呈左右对称分布的半圆环,两块半圆环之间相接触,半圆环内壁开有凹痕,半圆环与支撑板之间设置有支撑块,将进晶圆卡入到半圆环的凹痕内,通过电动伸缩杆拉伸使得两个半圆环逐渐靠拢,凹痕能够将晶圆给夹持在半圆环内,通过半圆环能够对晶圆进行稳固的夹持住,第一防水电机带动第一转轴转动,圆片带动圆盘刷转动,圆盘刷将晶圆表面进行清扫,通过软管给喷头提供清洗药水,从而将晶圆清洗干净,解决了目前的晶圆清洗设备在清洗过程中不便于对晶圆进行夹持和翻转的问题。

基本信息
专利标题 :
一种用于晶圆制造的圆片清洗设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021673496.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-12
授权号 :
CN213763018U
授权日 :
2021-07-23
发明人 :
不公告发明人
申请人 :
吴琪
申请人地址 :
广东省东莞市裕兴街33号附近
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202021673496.6
主分类号 :
B08B1/04
IPC分类号 :
B08B1/04  B08B3/02  B08B3/08  B08B13/00  H01L21/67  H01L21/687  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B1/00
利用工具,刷子或类似工具的清洁方法
B08B1/04
利用旋转动作的构件
法律状态
2022-01-18 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : B08B 1/04
登记生效日 : 20220106
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 上海武创大智高新技术集团有限公司
变更后权利人 : 奥准企业发展(上海)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201404 上海市奉贤区南桥镇八字桥路1919号2幢12层
变更后权利人 : 201700 上海市青浦区外青松公路7548弄588号16幢2层D区74室
2021-12-24 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : B08B 1/04
登记生效日 : 20211210
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 奥准企业发展(上海)有限公司
变更后权利人 : 上海武创大智高新技术集团有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201700 上海市青浦区外青松公路7548弄588号16幢2层D区74室
变更后权利人 : 201404 上海市奉贤区南桥镇八字桥路1919号2幢12层
2021-11-12 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : B08B 1/04
登记生效日 : 20211029
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 哈物实业(上海)有限公司
变更后权利人 : 奥准企业发展(上海)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201400 上海市奉贤区南桥镇八字桥路1919号2幢12层
变更后权利人 : 201700 上海市青浦区外青松公路7548弄588号16幢2层D区74室
2021-10-01 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : B08B 1/04
登记生效日 : 20210917
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 吴琪
变更后权利人 : 哈物实业(上海)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 523000 广东省东莞市裕兴街33号附近
变更后权利人 : 201400 上海市奉贤区南桥镇八字桥路1919号2幢12层
2021-07-23 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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