一种晶圆片清洗设备的喷淋机构

授权

摘要

本实用新型公开了一种晶圆片清洗设备的喷淋机构，所述喷淋机构包括两条支撑腿，两条支撑腿之间放置有喷头固定架和放置架，放置架上设有网孔和支撑凸，喷头固定架上设有喷头和阀门，支撑腿一边设有入水口，喷头固定架和放置架下方设有蓄水池，一条支撑腿内部和喷头固定架内部设有水管，水管与喷头连接；本实用新型中，喷头固定架的一侧设有阀门，可以通过阀门的开合来控制出水喷头的数量，可根据晶圆片的数量来决定阀门的开合，节约用水；放置架上布满网孔，网孔的直径小于晶圆片的直径，下面的喷头可以通过网孔将水喷洒到晶圆片的下方，实现两面同时清洗，节省时间；冲洗晶圆片时，水会落入到蓄水池中，可以防止水四处飞溅，防止地面积水。

基本信息

专利标题：

一种晶圆片清洗设备的喷淋机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021749719.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-08-20

授权号：

CN212517129U

授权日：

2021-02-09

发明人：

程玉学

申请人：

三河市致欣科技有限公司

申请人地址：

河北省廊坊市三河市燕郊开发区燕昌路西侧欧森工业园院内A1厂房

代理机构：

代理人：

优先权：

CN202021749719.2

主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/67 H01L21/687