一种靶材锁紧装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种靶材锁紧装置，包括U形固定座、所述U形固定座内底部设有导热板，所述导热板上侧放置有靶材，所述U形固定座左右两侧分别设有夹持固定组件，所述夹持固定组件包括丝杆、铰连座、夹持板和限位杆，两丝杆的相对侧端分别转动连接有铰连座，所述铰连座上铰连有夹持板，所述夹持板通过锁紧螺栓固定在铰连座上与现有技术相比的优点在于：本实用新型的散热结构设计，使得靶材在需要散热时，能够高效快速的散热；特殊的夹持固定组件，使得不同的靶材都能够被牢固的固定住，且夹持固定组件选用靶材使用时不能被有效利用的侧边作为定位点来进行夹持固定，有效提高的靶材的利用率。
基本信息
专利标题 ：
一种靶材锁紧装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021690557.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-14
授权号 ：
CN213507167U
授权日 ：
2021-06-22
发明人 ：
胥小勇颜建师涂培堤
申请人 ：
福建瓦能科技有限公司
申请人地址 ：
福建省三明市大田县石牌镇上坡村301号
代理机构 ：
北京盛凡智荣知识产权代理有限公司
代理人 ：
邓凌云
优先权 ：
CN202021690557.X
主分类号 ：
C23C14/34
IPC分类号 ：
C23C14/34 C23C14/32
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
法律状态
2021-06-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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