本实用新型公开了一种硅片的旋转预矫正装置，包括机架，所述机架上设有升降驱动装置驱动的放置平台，所述放置平台上定位有硅片盛放盒，所述机架上设有水平支架，所述水平支架上设有竖向驱动机构，所述竖向驱动机构上驱动有支撑座，所述支撑座上转动安装有矫正机构，所述矫正机构与所述硅片盛放盒的开口端同侧设置。通过竖向驱动机构带动支撑座上升、并靠近硅片盛放盒内的硅片，之后通过转动的矫正机构对硅片施力、并使硅片与硅片盛放盒上的端臂相抵，进而在往光刻机移送硅片前，完成了(位置发生变化的)硅片的复位矫正工作，提高了硅片移送至光刻区域的精确度，有效保障了光刻机正常工作的连续性和工作效率。