一种扩散炉用冷却装置
授权
摘要

本实用新型涉及扩散炉技术领域,且公开了一种扩散炉用冷却装置,解决了现有扩散炉废气冷却装置不能全面有效的对废气进行处理,从而导致废气处理效果差、效率低的问题,其包括导气箱,所述导气箱一侧的底部固定安装有进气罩,进气罩的底部连接有进气管,导气箱的底部安装有废液收集罩,导气箱的内部安装有冷却箱,冷却箱的顶部安装有导气管,导气管的一端安装有二次处理箱,二次处理箱顶部的一端安装有排气端,二次处理箱的内部安装有透气水板;本扩散炉用冷却装置在使用的过程中能够对废气进行双重降温处理,从而能够对废气进行全面有效的降温冷凝作用,使废气能够有效的形成废液,确保了废气的处理效果和处理效率。

基本信息
专利标题 :
一种扩散炉用冷却装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021843261.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-28
授权号 :
CN212806593U
授权日 :
2021-03-26
发明人 :
刘明利迟公超于洋
申请人 :
青岛赛尔微电子有限公司
申请人地址 :
山东省青岛市即墨市通济街道办事处邢家岭村
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202021843261.7
主分类号 :
F27D17/00
IPC分类号 :
F27D17/00  F28D5/02  F28F9/08  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F27
炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D
一种以上的炉通用的炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉的零部件或附件
F27D17/00
利用余热的装置
法律状态
2021-03-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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