一种能够提高碳化硅晶片边缘品质倒角砂轮
授权
摘要
本实用新型公开了一种能够提高碳化硅晶片边缘品质倒角砂轮,包括工作台,所述工作台的顶端活动安装有传动轴,所述传动轴顶端活动安装有细粒砂轮,所述细粒砂轮上固定安装有细粒磨料,所述细粒砂轮的顶端活动安装有粗粒砂轮,使用砂轮对SiC晶片进行倒角磨削时,通过可滑动的夹持臂和竖板,靠近高速旋转的砂轮对晶片边缘进行磨削,将现有的粗粒砂轮和细粒砂轮进行一体成型设计,减少对砂轮的更换次数,节省操作人员的更换时间,在传动轴上安装有长方体卡头与砂轮上的卡槽进行卡合,增大传动轴与砂轮间的摩擦力,提高了工作效率,同时也避免了容易出现小亮点和崩角的情况发生,提高磨削品质。
基本信息
专利标题 :
一种能够提高碳化硅晶片边缘品质倒角砂轮
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021846815.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-08-31
授权号 :
CN213319663U
授权日 :
2021-06-01
发明人 :
姜志荣姜泓安
申请人 :
泰州市志研超硬磨具有限公司
申请人地址 :
江苏省泰州市姜堰区民营经济产业中心
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202021846815.9
主分类号 :
B24D5/14
IPC分类号 :
B24D5/14
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24D
磨削、抛光或刃磨用的工具
B24D5/00
仅用其周边作用的黏结砂轮,或镶入磨块的砂轮;其衬套或固定件
B24D5/14
区域分级砂轮;含不同磨料的组合砂轮
法律状态
2021-06-01 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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