PECVD设备无载板硅片传送机构及与该传送机构配合的工艺...
授权
摘要
PECVD设备无载板硅片传送机构及与该传送机构配合的工艺腔室涉及太阳能电池设备技术领域，尤其涉及用于制造异质结太阳能电池的PECVD设备无载板硅片传送机构及与该传送机构配合的工艺腔室。本实用新型提供一种不需要使用载板，成本低廉，提高产能的PECVD设备无载板的硅片传送机构及与该传送机构配合的工艺腔室。本实用新型的无载板硅片传送机构，包括取片装置，其特征在于：取片装置底部设置有抓手。
基本信息
专利标题 ：
PECVD设备无载板硅片传送机构及与该传送机构配合的工艺腔室
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021957128.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-09
授权号 ：
CN212517147U
授权日 ：
2021-02-09
发明人 ：
杨宝海杨娜潘家永许伟伟宋玉超李轶军李翔李敦信李义升
申请人 ：
营口金辰机械股份有限公司
申请人地址 ：
辽宁省营口市沿海产业基地新港大街95号
代理机构 ：
沈阳亚泰专利商标代理有限公司
代理人 ：
周涛
优先权 ：
CN202021957128.4
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L21/683 H01L31/18 C23C16/458
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2021-02-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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