探头座更换模块及蒸镀系统
授权
摘要
本实用新型提供了一种探头座更换模块及蒸镀系统，探头座更换模块包括探头底座、旋转台及开合组件，旋转台上设置有至少一个工作位及至少一个备用位，工作位及所述备用位用于安装探头座，探头座用于安装晶振片，开合组件包括第一驱动组件，及连接于第一驱动组件一端的探头上盖，探头上盖与所述探头座匹配，第一驱动组件驱动所述探头上盖与所述探头座分离或闭合，旋转台转动将备用位上的晶振片移动至工作位。本实用新型的有益效果体现在：通过更换探头座，使得晶振片可以及时进行更换，整体结构简单明了，易于操作，节省了安装控件，从很大程度上节省了真空室内的空间及制作成本。同时，结合存储组件存放备用探头座，间接提高了探头的使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
探头座更换模块及蒸镀系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022022984.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-16
授权号 ：
CN213624346U
授权日 ：
2021-07-06
发明人 ：
张敬娣顾婉莹黄稳廖良生武启飞冯敏强
申请人 ：
苏州方昇光电股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区星湖街218号A4楼102室
代理机构 ：
南京苏科专利代理有限责任公司
代理人 ：
蒋慧妮
优先权 ：
CN202022022984.7
主分类号 ：
C23C14/24
IPC分类号 ：
C23C14/24 C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
法律状态
2021-07-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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