一种双面曝光机
授权
摘要

本实用新型公开了一种双面曝光机,涉及晶闸管生产设备,解决了对硅片单面曝光工作效率低、且容易污染硅片的技术问题。它包括机体,机体内安装有两个相对布置的安装座,安装座之间设有上下布置的两个安装支架,安装支架通过第一驱动组件活动的安装在安装座上;安装支架上设有光刻板定位支架,光刻板定位支架通过第二驱动组件活动的安装在安装支架上;两个安装支架之间设有硅片定位支架,硅片定位支架固定的安装在两个安装座之间;位于安装支架上方的机体上安装有上曝光灯,位于安装支架下方的机体上安装有下曝光灯。本实用新型能同时曝光硅片的两个面,大大的提高了工作效率,同时也避免了硅片容易受到污染的问题。

基本信息
专利标题 :
一种双面曝光机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022097634.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-23
授权号 :
CN213240802U
授权日 :
2021-05-18
发明人 :
宋解放
申请人 :
襄阳先泰电子有限公司
申请人地址 :
湖北省襄阳市樊城区松鹤西路72号
代理机构 :
广州海心联合专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
马赟斋
优先权 :
CN202022097634.7
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2021-05-18 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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