双列双面曝光机
授权
摘要

本实用新型的双列双面曝光机,包括设置于机架上的第一传送装置、第一曝光装置、第二传送装置、第二曝光装置和第三传送装置。第一传送装置用于进料,第二传送装置对接第一曝光装置和第二曝光装置,第三传送装置用于出料。第一传送装置、第二传送装置和第三传送装置均包括并列设置的两传送机构。第一曝光装置包括两第一曝光平台和两第一曝光模组,两第一曝光模组共用一个第一光源组件。第二曝光装置包括两第二曝光平台和两第二曝光模组,两第二曝光模组共用一个第二光源组件。本实用新型的双列双面曝光机,可以双列四工位进行曝光,不仅效率高,而且部分部件共用,节约了成本。本实用新型的双列双面曝光机,结构合理效率高。

基本信息
专利标题 :
双列双面曝光机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122704687.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-11-05
授权号 :
CN216248759U
授权日 :
2022-04-08
发明人 :
梁添贵倪沁心陈铁玉陈建明
申请人 :
广东华恒智能科技有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市南城街道白马振兴工业区先锋2路2号彼联科技园B栋0202
代理机构 :
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 :
张艳美
优先权 :
CN202122704687.5
主分类号 :
G03F7/20
IPC分类号 :
G03F7/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-04-08 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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