一种无篮晶圆抓取机械手
授权
摘要
本申请涉及一种有无篮晶圆抓取机械，包括安装架、旋转轴、抓取架。抓取架竖直向下时为初始状态，当动力件驱动旋转轴使两个抓取架向相反方向转动时，两个抓取架的下方相互远离，晶圆能够置入两个抓取架之间，通过梳齿形底边抓取固定晶圆，晶圆能够直接置入梳齿间隙内，通过两个抓取架上上底边和下底边达到个支撑位置，从而形成稳固的固定。
基本信息
专利标题 ：
一种无篮晶圆抓取机械手
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022138494.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-26
授权号 ：
CN212676236U
授权日 ：
2021-03-09
发明人 ：
钱诚李刚李文亭
申请人 ：
江苏亚电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省泰州市姜堰区三水街道科技路199号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022138494.3
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687 H01L21/677
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2021-03-09 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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