一种智能真空镀膜机
授权
摘要
本实用新型公开一种智能真空镀膜机，包括壳体，壳体具有腔体，腔体内装有磁控溅射靶，工件架围绕所述磁控溅射靶自转和公转；所述工件架包括公转架和均匀安装于磁控溅射靶周围的多个自转组件；每个自转组件通过轴承安装于公转架；自转组件与壳体内壁设有多个拨动件相接触，自转组件通过拨动件的阻挡相对磁控溅射靶自转；该实用新型工件架围绕磁控溅射靶产生自转和公转，减少待镀膜产品因位置不同引起膜层厚度差异。
基本信息
专利标题 ：
一种智能真空镀膜机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022211008.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-30
授权号 ：
CN213447288U
授权日 ：
2021-06-15
发明人 ：
徐世杰张一为
申请人 ：
金华万得福日用品股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省金华市金东区孝顺镇镇北功能区
代理机构 ：
浙江千克知识产权代理有限公司
代理人 ：
田静
优先权 ：
CN202022211008.6
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2021-06-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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