一种具有防脱落结构的靶材组件
授权
摘要
本实用新型提供了一种具有防脱落结构的靶材组件，所述具有防脱落结构的靶材组件包括靶材与背板；所述靶材的上表面边缘为第一防脱落区；所述靶材的侧面分为第二防脱落区与第三防脱落区；所述背板的上表面设置有第四防脱落区；所述第四防脱落区内设置有至少1个闭合凹槽；所述第一防脱落区、第二防脱落区、第三防脱落区与第四防脱落区的表面分别独立地设置有防脱落结构；所述防脱落结构包括滚花结构和/或喷砂结构；所述第一防脱落区、第二防脱落区、第三防脱落区与第四防脱落区中至少有1个防脱落区的表面设置有滚花结构。本实用新型能够长期且有效地防止靶材组件在使用过程中反溅射物脱落，从而延长靶材的使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种具有防脱落结构的靶材组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022261548.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-12
授权号 ：
CN213951332U
授权日 ：
2021-08-13
发明人 ：
姚力军边逸军潘杰王学泽冯周瑜
申请人 ：
宁波江丰电子材料股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路
代理机构 ：
北京远智汇知识产权代理有限公司
代理人 ：
王岩
优先权 ：
CN202022261548.5
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2021-08-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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