一种靶材组件
授权
摘要
本实用新型涉及一种靶材组件，所述靶材组件中靶材的溅射端面设置有花纹环；所述花纹环中的花纹为网状花纹；所述花纹环的外径等于所述靶材的外径。本实用新型提供的靶材组件通过对靶材的反溅射面设置新的花纹，进一步增强反溅射区域对粒子的附着力，有效延长产品使用寿命，避免反溅射区域附着物脱落，导致损坏晶圆。
基本信息
专利标题 ：
一种靶材组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021677102.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-08-12
授权号 ：
CN214327865U
授权日 ：
2021-10-01
发明人 ：
姚力军边逸军潘杰王学泽董志清
申请人 ：
宁波江丰电子材料股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路
代理机构 ：
北京远智汇知识产权代理有限公司
代理人 ：
王岩
优先权 ：
CN202021677102.4
主分类号 ：
C23C14/35
IPC分类号 ：
C23C14/35
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/34
溅射
C23C14/35
利用磁场的，例如磁控溅射
法律状态
2021-10-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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