一种铜靶材组件焊接结构及包含其的铜靶材组件
授权
摘要
本实用新型提供一种铜靶材组件焊接结构及包含其的铜靶材组件，所述结构包括背板以及铜靶材，通过在背板和铜靶材上分别设置相适配的凹槽和凸台，并在凹槽面上设置端面螺纹，控制凸台与凹槽的配合间隙，能够进一步增加焊接面积，提高焊接结合率，针对焊接困难的铜靶材也能达到焊接率高的效果，最终提高铜靶材的合格率；利用所述焊接结构焊接得到的铜靶材组件在靶材溅射过程中铜靶材不易脱落，不会对芯片造成影响，具有较高的工业应用价值。
基本信息
专利标题 ：
一种铜靶材组件焊接结构及包含其的铜靶材组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020691207.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-29
授权号 ：
CN213235677U
授权日 ：
2021-05-18
发明人 ：
姚力军潘杰边逸军王学泽张余
申请人 ：
宁波江丰电子材料股份有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路
代理机构 ：
北京远智汇知识产权代理有限公司
代理人 ：
王岩
优先权 ：
CN202020691207.9
主分类号 ：
F16B5/08
IPC分类号 ：
F16B5/08 C23C14/34
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16B
紧固或固定构件或机器零件用的器件，如钉、螺栓、簧环、夹、卡箍或楔；连接件或连接
F16B
紧固或固定构件或机器零件用的器件，如钉、螺栓、簧环、夹、卡箍或楔；连接件或连接
F16B5/00
薄板或板的相互连接或与其平行的带或杆的连接
F16B5/08
用焊接接头或类似构件
法律状态
2021-05-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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