一种无篮晶圆喷洗装置
授权
摘要
本申请涉及一种无篮晶圆喷洗装置，由于晶圆直接被置入晶圆支撑架上，由晶圆支撑架直接支撑固定晶圆，省去了晶圆盒，因此，第一喷管上喷嘴能够喷出的清洗液或者清水以抛物线的形式喷射到晶圆周面上，水流被晶圆切开并流到晶圆的前后表面从而直接对晶圆进行清洗，保证了清洗效果。
基本信息
专利标题 ：
一种无篮晶圆喷洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022271055.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-13
授权号 ：
CN213242497U
授权日 ：
2021-05-18
发明人 ：
钱诚李刚童建
申请人 ：
江苏亚电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省泰州市姜堰区三水街道科技路199号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022271055.X
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/687
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-05-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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