用于芯片加工的晶圆喷胶机构
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型公开了用于芯片加工的晶圆喷胶机构,包括支撑装置,所述支撑装置上设置有用于上下限位罩的电动伸缩杆,所述限位罩上均匀安装有用于喷胶的喷胶头,还包括设置在所述限位罩下方的用于固定晶圆的固定装置,以及连接在所述固定装置下端的用于卸料的卸料装置,所述卸料装置、所述固定装置与所述支撑装置连接。本实用新型通过固定装置的设置使晶圆在喷胶前通过气体吸力进行固定,提高了喷胶的质量,同时通过卸料装置的设置,便于对喷胶后的晶圆进行顶起取出,提高了操作效率。

基本信息
专利标题 :
用于芯片加工的晶圆喷胶机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922334027.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-24
授权号 :
CN211865657U
授权日 :
2020-11-06
发明人 :
彭长贵
申请人 :
浙江天九新能源科技有限公司
申请人地址 :
浙江省湖州市长兴县太湖街道高铁路669号国家大学科技园12号楼2楼
代理机构 :
北京艾皮专利代理有限公司
代理人 :
郭童瑜
优先权 :
CN201922334027.5
主分类号 :
B05C5/02
IPC分类号 :
B05C5/02  B05C13/02  G03F7/16  H01L21/67  H01L21/683  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C5/00
将液体或其他流体物质喷射,灌注或让其流到工件表面的装置
B05C5/02
液体从与工件接触的或几乎接触的一个出口中出来
法律状态
2020-12-01 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : B05C 5/02
登记生效日 : 20201118
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 浙江天九新能源科技有限公司
变更后权利人 : 武汉芯锋芯电子科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 313100 浙江省湖州市长兴县太湖街道高铁路669号国家大学科技园12号楼2楼
变更后权利人 : 430070 湖北省武汉市洪山区文化大道555号融科智谷A3-5栋-3F-14
2020-11-06 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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