一种基于芯片加工的晶圆喷胶机构
授权
摘要

本实用新型涉及芯片加工技术领域,公开了一种基于芯片加工的晶圆喷胶机构,包括装于外界机架上的安装板,安装板的顶面上设置有储胶罐,储胶罐的顶部设置有搅拌电机搅拌电机的主轴上接有竖直向下穿入储胶罐内的搅拌轴,搅拌轴的轴壁上接有搅拌杆,储胶罐的底壁上开设有出胶口,出胶口上设有分隔组件,安装板的底面上设置有连通管和第一气缸,连通管上接有存胶块,存胶块与连通管连通的位置处覆盖有气泡过滤网,存胶块内部设置有挤压板,第一气缸的活塞管端穿入存胶块内与挤压板固接在一起,存胶块的底壁上设有若干与存胶块内部连通的喷头,喷头处于挤压板的正下方范围内;本实用新型具有喷胶效果好、保证喷胶质量的特点。

基本信息
专利标题 :
一种基于芯片加工的晶圆喷胶机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202021937460.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-09-08
授权号 :
CN214160281U
授权日 :
2021-09-10
发明人 :
刘加美曹芳刘俊呈
申请人 :
南京禅生半导体科技有限公司
申请人地址 :
江苏省南京市浦口区桥林街道步月路29号12幢446
代理机构 :
上海汇齐专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
朱明福
优先权 :
CN202021937460.4
主分类号 :
B05C5/02
IPC分类号 :
B05C5/02  B05C11/10  B01F7/18  B01D19/00  B01D19/02  G03F7/16  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C5/00
将液体或其他流体物质喷射,灌注或让其流到工件表面的装置
B05C5/02
液体从与工件接触的或几乎接触的一个出口中出来
法律状态
2021-09-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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