本实用新型提供一种芯片尺寸测量装置，包括上料机构、下料机构、测量提取机构、第一方向移动机构、第二方向移动机构和芯片载具，测量提取机构逐个对测量tray盘上的芯片进行测量，并将测量不合格的芯片放置在芯片载具上，控制不合格的芯片归口收集，避免其流至下游；由于不合格芯片被提取走，测量tray盘上存在空格，测量提取机构从芯片载具上提取合格的芯片并补偿至测量tray盘上，使得测量tray盘上始终保持整一盘都是合格的芯片，当逐个芯片测量完毕，由第一方向移动机构输送测量tray盘至下料机构，完成合格芯片的收集，测量效率高，对于良品和不良品的分类管理控制效果好，确保流向下游的测量tray盘上全部承载良品，便于批量检测。