一种封装后芯片尺寸自动快速测量设备
公开
摘要
本发明属于芯片尺寸测量设备技术领域,具体涉及一种封装后芯片尺寸自动快速测量设备。一种封装后芯片尺寸自动快速测量设备,包括真空吸附平台、运动机构、第一视觉系统和第二视觉系统;所述第一视觉系统和第二视觉系统固定设置在所述运动结构上,对放置在所述真空吸附平台上的芯片进行拍摄和成像。本发明提供了一种封装后芯片尺寸自动快速测量设备,利用真空吸附平台消除基板变形对测量的影响,同时在真空吸附平台上可以摆放多个芯片,通过真空吸附平台的吸附固定,平整芯片,确定芯片位置,通过控制程序自动快速对多个芯片进行检测。
基本信息
专利标题 :
一种封装后芯片尺寸自动快速测量设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114623770A
申请号 :
CN202110389716.5
公开(公告)日 :
2022-06-14
申请日 :
2021-04-12
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
王平唐丽莎
申请人 :
江苏丽多智能科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市工业园区东富路32号A栋114、115室
代理机构 :
上海微策知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
张静
优先权 :
CN202110389716.5
主分类号 :
G01B11/06
IPC分类号 :
G01B11/06 G01B11/26 G01B11/02 G01B11/00 G01B21/08 G01B21/22
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/00
以采用光学方法为特征的计量设备
G01B11/02
用于计量长度、宽度或厚度
G01B11/06
用于计量厚度
法律状态
2022-06-14 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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