一种碳化硅芯片清洗装置
授权
摘要
本实用新型提供一种碳化硅芯片清洗装置。所述碳化硅芯片清洗装置包括清洗箱；两个第一放置板，两个第一放置板分别固定安装在所述清洗箱的两侧内壁上；集水箱，所述集水箱设置在所述清洗箱的底部内壁上；第一气缸，所述第一气缸固定安装在所述清洗箱的顶部内壁上；第二气缸，所述第二气缸固定安装在所述集水箱的底部内壁上；两个连接框，两个所述连接框分别固定安装在所述第一气缸和所述第二气缸的伸缩轴上；两个通口。本实用新型提供的碳化硅芯片清洗装置具有操作简单，清洗快速、清洗效果好的优点。
基本信息
专利标题 ：
一种碳化硅芯片清洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022284865.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-14
授权号 ：
CN213558655U
授权日 ：
2021-06-29
发明人 ：
田李庄
申请人 ：
济南新芯微电子有限公司
申请人地址 ：
山东省济南市高新新宇路南首齐鲁软件园九层908房间
代理机构 ：
山东明宇知信知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
钟文强
优先权 ：
CN202022284865.9
主分类号 ：
B08B1/04
IPC分类号 ：
B08B1/04 B08B13/00 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B1/00
利用工具，刷子或类似工具的清洁方法
B08B1/04
利用旋转动作的构件
法律状态
2021-06-29 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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