一种硅片用冲洗装置
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摘要
本实用新型公开了一种硅片用冲洗装置，包括柜体，柜体上侧连接有电机，电机的输出端连接有皮带轮一，皮带轮一通过皮带带动有皮带轮二，皮带轮二上连接有转轴，转轴的上端通过转动座一与柜体外侧壁相连接，转轴的下端通过转动座二与柜体的外侧壁相连接，转轴中间设有矩形弯折，柜体上端连接有清洗装置，清洗装置包括液压缸、支撑柱、毛刷、T型滑块和滑座，T型滑块设在液压缸的下端，滑座内设有与T型滑块相匹配的T型滑槽，T型滑块下端与滑座滑动连接。本实用新型与现有技术相比的优点在于：能一次固定住个硅片进行清洗，清洗的效率高，在硅片的上下都能够进行清洗，切清洗之后能够同时进行使用毛刷将硅片上的灰尘擦拭掉。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片用冲洗装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022302744.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-16
授权号 ：
CN213591163U
授权日 ：
2021-07-02
发明人 ：
闫善韵
申请人 ：
苏州林赛自动化科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴中区木渎镇钟塔路8号6幢1楼
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022302744.2
主分类号 ：
B08B1/00
IPC分类号 ：
B08B1/00 B08B3/02 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B1/00
利用工具，刷子或类似工具的清洁方法
法律状态
2021-07-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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