一种硅片运输装置
授权
摘要
本实用新型涉及光伏组件制造技术领域，公开了一种硅片运输装置。硅片运输装置包括悬浮组件和驱动组件。悬浮组件包括沿水平面上的第一方向延伸的第一气管，第一气管的上方沿第一方向开设有多个第一通气孔，第一通气孔吹出的气流能够使硅片悬浮在第一气管上方。驱动组件包括第一吹气件，第一吹气件上开设有第一出气口，第一出气口能够沿第一方向朝向悬浮的硅片吹气，以使悬浮的硅片沿第一方向移动。本实用新型避免了在硅片上产生划痕，保证了电池成品的合格率，降低了生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片运输装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022357895.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-21
授权号 ：
CN213635932U
授权日 ：
2021-07-06
发明人 ：
周思洁曹芳叶晓亚邹帅王栩生
申请人 ：
苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区鹿山路199号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
胡彬
优先权 ：
CN202022357895.8
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2021-07-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
