一种光刻机用晶圆片匀胶装置
授权
摘要
本实用新型涉及晶圆片光刻技术领域，公开了一种光刻机用晶圆片匀胶装置，包括工作台，所述工作台的左端固定安装有控制开关，所述控制开关的内部设置有PLC控制器，所述工作台的上端中部固定安装有收集罩，所述工作台的内腔上端中部固定安装有电机，所述电机的上端设置有传动杆，所述电机的电机轴输出端与传动杆传动连接，所述传动杆贯穿工作台和收集罩固定连接有真空吸盘，所述收集罩的内腔下端中部设置有密封圈。本实用新型通过设置的收集罩、橡胶条、电机、传动杆、真空吸盘、密封圈、直杆、液位传感器、排液管和喇叭，解决了光刻胶污染工作环境，增加二次清理麻烦的问题，较为实用，适合广泛推广与使用。
基本信息
专利标题 ：
一种光刻机用晶圆片匀胶装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022435138.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-28
授权号 ：
CN213715698U
授权日 ：
2021-07-16
发明人 ：
卫广连叶东国付志江
申请人 ：
大连榕树光学有限公司
申请人地址 ：
辽宁省大连市大连保税区黄海西四路215号宜华大厦1104
代理机构 ：
北京盛凡智荣知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵芳蕾
优先权 ：
CN202022435138.8
主分类号 ：
G03F7/16
IPC分类号 ：
G03F7/16
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/16
涂层处理及其设备
法律状态
2021-07-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
